Silisyum mikro tozunun üretim yöntemi

Öncelikle, triklorosilan yöntemi sentez fırınına kuru silisyum tozu ekler ve {{0}} derecede bakır klorür katalizörünün varlığında tanıtılan kuru hidrojen klorür gazı ile klorlama reaksiyonuna girer. Reaksiyon gazı, safsızlıkları gidermek için siklonla ayrılır ve daha sonra gaz halindeki triklorosilan, kalsiyum klorür dondurulmuş tuzlu su kullanılarak bir sıvıya yoğunlaştırılır. Yüksek kaynama noktalı ve düşük kaynama noktalı maddeleri gidermek için ham bir damıtma kulesinde damıtılır ve yoğunlaştırılır ve daha sonra rafine edilmiş bir triklorosilan sıvısı elde etmek için bir damıtma kulesinde damıtılır ve yoğunlaştırılır. Saflık 7 veya daha fazla "9"a ulaşmalı, safsızlık içeriği 1 × 10-7'den az olmalı ve bor gereksinimi 0,5 × 10-9'nin altında olmalıdır. Saflaştırılmış triklorosilan, onu 1050-1100 derecede silisyuma indirgemek için indirgeyici madde olarak ultra saf hidrojen gazının kullanıldığı paslanmaz çelik bir indirgeme fırınına gönderilir. Silisyum çekirdek çubuğu, polikristalin silisyum ürünlerinin biriktirilmesinde taşıyıcı olarak kullanılır.

İkinci olarak, yaklaşık %95 SiO2 içerikli silika ve düşük kül içerikli kok karıştırılır, indirgeme için yaklaşık 1900 dereceye kadar ısıtılır. Bu yöntemle üretilen silisyumun saflığı %97~%98'dir ve metalik silisyum olarak adlandırılır. Metalik silisyum eritildikten sonra yeniden kristalleşmeye uğrar ve saflığı %99,7~%99,8 olan metalik silisyum elde etmek için asitle safsızlıklar giderilir. Yarı iletken silisyuma dönüştürmek için, saflaştırılması kolay bir sıvı veya gaz formuna dönüştürülmesi ve ardından damıtma ve ayrıştırma işlemleriyle polikristalin silisyum elde edilmesi gerekir. Yüksek saflıkta silisyum elde etmek için, daha fazla saflaştırma işlemi gerekir.

Üçüncüsü, yaklaşık %95 SiO2 içerikli silika ile düşük kül içerikli kok karıştırılarak, 1000-3000kVA açık ark ocağında yaklaşık 1900 dereceye kadar ısıtılarak redüksiyon sağlanır.